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光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、*密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高*密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為**各國在科技發展上極為重視的項目,設計理念及施工技術在行業中則處于**地位。
光學微電子凈化工程結構材料
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環氧自流坪地坪或***磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型pF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
光學微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設計過程中,應加強對光學微電子行業凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況,同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。
1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個**傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
2、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓風柜+高效送風口
與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
3、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之分體空調柜機++FFU送風口
這是**簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內,并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂口。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
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